Nghiên cứu ứng dụng công nghệ mems để chết tạo "micro-Array" dùng trong phân tích sinh học

NGHIÊN CỨU ỨNG DỤNG CÔNG NGHỆ MEMS ĐỂ CHẾT TẠO "MICRO-ARRAY" DÙNG TRONG PHÂN TÍCH SINH HỌC MAI THỊ ANH ĐÀO Trang nhan đề Lời cảm ơn Mục lục Các danh mục Mở đầu Chương 1: Tổng quát về công nghệ MEMS Chương 2: Các phương pháp tạo màng để chế tạo "micro-array" Chương 3: Phương pháp khắc dùng trong chế tạo "micro-array" Chương 4: Thí nghiệm và kết quả nghiên cứu Kết luận Tài liệu tham khảo Phụ lục